乐鱼体育盛剑环境：泛半导体废气治理领军企业打造设备和材料新成长点盛剑环境是国内泛半导体废气治理行业领军企业，致力于为客户定制化提供安 全稳定的废气治理系统解决方案,为产业绿色生产创造价值。盛剑环境成立于 2005 年，于 2021 年在上交所主板上市。在确立国内泛半导体工艺废气治理领先地位的 同时，通过多年的不懈积累，公司已经构建了一套完善的质量控制体系，持续扩展 其业务领域，逐渐实现了废气治理系统、废气治理设备、湿电子化学品供应与回收、 湿电子化学材料等多元业务的多层面战略布局。凭借着产品质量的稳定性，与中芯 国际、华虹半导体、京东方、华星光电、和辉光电等业内龙头企业展开密切合作。
公司股权结构较为稳定，公司实际控制人为张伟明和汪哲，两人为夫妻关系。 截至 2023 年 6 月 30 日，张伟明直接持有公司 59.55%的股份；汪哲直接持有公司 1.22%的股份；此外，张伟明与汪哲通过其控制的上海昆生管理（该公司系员工持 股平台）间接持有公司股份。综上，张伟明和汪哲实际合计控制公司 61.48%股权， 为公司的实际控制人。
子公司协同发展。公司共有 7 家全资子公司。2005 年上海盛剑通风成立，后在 2012 年盛剑环境有限公司实现完全控股，盛剑通风主营业务为通风管道业务。江苏 盛剑成立于 2016 年，负责废气治理设备业务的研发制造。2017 成立北京盛科达后 改名为北京盛剑微，负责湿电子化学品回收系统业务，后北京盛剑微成立两家全资 子公司，合肥盛剑微、上海盛剑微，上海盛剑微负责湿电子化学品材料的研发，合 肥盛剑微电子专用材料研发制造及相关资源化。
管理层兼具研发与销售背景，公司高管对环保行业有丰富的从业经验。公司副 总经理张志林、章学春、许云都曾担任过行业内龙头企业的工程师，具有极为深厚 的技术背景。同时，公司在上市后推出了股权激励计划及员工持股计划，能够有效 的调动团队核心成员的工作积极性，为公司高质量发展保驾护航。
公司构建了一个多元产品体系，包括系统、设备和材料，具有一体化的竞争优 势。公司专注于环保项目、环保技术、环保设备的技术开发，机电设备的建设与安 装，以及环保工程项目的施工工作，环保建设工程专业施工，工程管理服务，合同 能源管理，节能技术推广服务，机电设备、机械设备安装等工作，公司具备处理各 种废气的能力，包括酸碱废气、有毒废气和 VOCs 等，同时还提供附属设备和排气 管道配套部件的销售。公司积极满足客户需求，提供湿电子化学品供应和回收服务， 为客户提供一站式解决方案。
盛剑环境主营业务收入结构稳定。2019-2022 年，主营业务收入中，废气治理 系统、废气治理设备、湿电子化学品供应与回收系统四个部分，其中废气治理系统 以及废气治理设备的营收占比较大，二者总营收占比维持在 90%左右。主营业务的 毛利率水平也比较稳定，均维持在 30%左右。2023 年上半年废气治理系统实现的营 业收入为 3.59 亿元，占主营业务收入的比重为 46.55%，废气治理设备实现的营业收 入为 3.51 亿元，占主营业务收入的 45.41%。
盈利水平近年持续增长，毛利率水平保持稳定。2019-2022 年公司营收 CAGR 为 14.47%，归母净利润 CAGR 为 4.75%。公司总体毛利率维持在 30%左右。净利率 较为稳定，维持在 10%左右，有小幅度下降，由 2019 年的 13%下降到 2022 年的 10%。2022 年净利润同比增长率较往年有所下降，主要原因系外部宏观环境多变且 复杂。 经营业绩持续向好。公司2022年度实现营业收入13.28亿元，同比增长7.74%； 实现归属于母公司所有者的净利润 1.30 亿元，同比下降 14.47%。2023 年前三季度 实现营业收入 10.72 亿元，同比增长 11.61%；实现归属于母公司所有者的净利润 0.99 亿元，同比下降 9.85%。
期间费用率控制效果显著，研发费用率持续上升。2019-2022 公司的期间费用 率维持在 10%以下，2022 年公司期间费用率为 9%，较 2021 年期间费用率 6.85%有 所提升，主要是由于 2022 年，公司业务拓展、员工薪酬支出、售后维护费用以及 增加研发投资。未来，随着规模效应的逐渐显现，常态化经营的实施，未来期间费 用率会有所改善。
泛半导体生产过程中持续产生工业废气，废气治理不可或缺。泛半导体产业是 指集成电路、光电显示（主要包含 LCD、OLED 等）、太阳能电池、分立器件以 及半导体设备材料产业的统称，其生产过程中会持续产生成分复杂的工业废气，需 要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，以集成电路为例Leyu·乐鱼官网，其核心工艺流程主要 包括：掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺，每个工艺流程均会产生不同类别废气，因此 废气治理系统及设备是生产工艺不可或缺的组成部分。
柔性+刚性双重因素导致废气治理具有强必要性。柔性：1）影响产能利用率： 废气治理系统发生故障时会导致连续工序中断，直接影响产线的稳定运行，从而影 响产能利用率；2）影响产品良率：废气会致使洁净室内空气环境改变，可能导致 产品良率下降乃至报废；3）危及员工职业健康：废气会通过呼吸道、皮肤等进入 ，导致各种急慢性健康问题，包括粘膜刺激、炎症、心肺疾病和癌症等；4） 破坏生态环境。刚性：环境监管趋严，针对泛半导体行业的排放标准陆续出台，对 设备或车间排气筒排放大气污染物浓度限值监管日趋严格。我们预计双碳背景下对 排放物的限制将越来越严格，废气治理也将扮演越来越重要的角色，行业市场空间 有望进一步扩大。
中国后来居上，实现面板产能全面领先。面板的发展经历了四次迭代：1）欧 美发明 LCD 技术，主导市场；2）日系大厂投入 LCD 研发，率先实现产业化；3） 亚洲金融危机后韩国和中国企业崛起，争相投入高世代产线）金融危机后面板行业衰退，我国逆周期推出救市政策。自 2010 年起，光电显示行业产能逐步 由日本、韩国、中国向中国内地转移。据智研咨询统计，2017 年我国面板产 能占全球总产能的比重约为 34%，预计 2022 年我国面板产能的占比将达到 56%， 未来产品市占率将进一步提升。
面板厂调整尺寸结构，大幅度减少小尺寸供应，增加大尺寸产能。根据奥 AVC Revo 数据显示，2023H1 全球 TV 面板出货量 123.2M，同比下降 11.2%；出 货面积 84.6 Mm²，同比下降 2.9%，环比下降 3.4%。2023H1 平均出货尺寸高达 47.8 寸，同环比涨幅分别为 2.2 寸、1.6 寸。其中第二季度 TV 面板出货量 64.4M， 同比下降 4.2%，环比增长 9.6%;出货面积 45.3Mm²，同环比分别增长 8.3%、 15.4%。分尺寸来看，主流尺寸 32/55 寸出货回落，32 寸面板 H1 出货 28.3M，同 比下滑 31%，占整体出货占比由去年同期 29.4%降到 22.5%。在市场需求倾向大 尺寸的影响下，尤其 75/80+寸大幅增长有利于产能消化。
2022 年以来面板价格持续下跌，在需求端低迷确定性较强情况下，面板厂商 改变思维，以利润为导向通过控产方式拉动面板价格，改善亏损局面。今年 3 月份 以来在面板涨价的预期下，整机厂采购需求提前，前期需求不断恢复，拉动面板价 格逐月攀升，面板厂稼动率也随之恢复。但终端市场需求疲软，下半年海外促销旺 季备货基本完成的情况下，整机厂在 TV 面板成本大幅上涨，面临亏损的高压情况 下，8 月中旬开始集中下修面板采购量，持续涨价的风向被抑制。 LCD 产能趋稳，OLED 等新技术渗透率提升。在显示技术方向上，行业普遍 认可自发光的 OLED 是未来的主流， 2022 年三星、LG 等日韩厂商陆续退出 LCD 产能，转型 OLED，国内厂商也放慢了新产线投资步伐，LCD 面板产能基本趋 稳，全球 LCD 产能高度集中于中国。OLED 方面，在手机、手表等小尺寸应用领 域中，OLED 渗透率已经接近 LCD，但在电视等大尺寸应用领域方面，由于价格 原因，OLED 渗透率仍然很低，全年出货规模预计不足 6M。其他新技术方面，以 Micro LED 为例，根据 Omdia 数据， 2030 年出货量预计为 5170 万台，出货份额 仅达到整个显示器市场的 1.2%左右。因此，未来相当一段时间内 LCD 仍将是主 流。
2023-2025 年中国面板废气治理市场空间 3.9/7.3/6.9 亿元。假设如下： 1） 根据 DSCC 预测，2024 年中国面板设备资本开支 581 亿元，结合最近 面板厂商控产提价等表现，预计我国整体设备资本开支将有所下降， 假设 2025-2026 年中国面板设备资本开支保持每年-5%增长，设备占据 总资本开支的 80%。 2） 根据公司招股说明书，光电显示行业环保投资一般占总投资（包括生产设 备购置费和工程建设费） 的 2.5%-3%，其中废气处理投资占比最高，超过 1/3。在日趋严格的环保监测背景下，我们假设环保投资占总投资 3%，废 气处理投资占比 1/3。
泛半导体工艺废气治理主要竞争对手为国外企业。我国泛半导体产业起步晚于 美国Leyu·乐鱼官网、日韩和中国地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。就泛半导体 工艺废气治理业务而言，目前国内尚无同行业上市公司，供应商以小型供应商为主， 业务范围以通用治理设备的制造销售和安装、配套工程服务中的劳务分包为主，无 法为客户提供系统解决方案，公司竞争对手主要为国外公司。经过多年积累，公司建立了完善的质量控制体系，依靠稳定的产品质量，获得了泛半导体行业优质客户 的广泛认可，建立了良好的口碑和品牌优势。
公司深度绑定光电显示行业头部公司。2022 年公司光电显示行业实现营收 4.24 亿元，同比降低19.86%，毛利率25.74%。光电显示前十名厂商占据了行业的绝大部 分产能。这些厂商的供应商准入标准严格，通常会选择经验丰富、历史业绩杰出、 行业内领先的供应商进行合作，供应商选定后一般不会随意更换。公司凭借定制化 设计、及时交付能力、稳定的产品质量和优秀的现场管理水平，与行业领军企业建 立了良好稳定的合作关系。
公司在光电显示行业持续保持领先地位，服务头部公司重点项目。2022 年， 公司成功中标深圳华星光电 t6t7 产能扩充项目、武汉华星光电第 6 代半导体新型显 示器件生产线扩产项目、苏州华星光电 t10 屋顶有机排气技改项目、京东方重庆第 6 代 AMOLED（柔性）生产线 年上半年新增厦门天马 第 8.6 代新型显示面板生产线项目工艺排气系统、深圳华星 T7 VOC 排气更新改造 等行业重点项目。
集成电路市场空间广阔，预计 2023 年将承压。根据 IC Insights 数据，全球集 成电路市场规模从 2018 年的 4,217 亿美元增长至 2021 年的 5,105 亿美元，CAGR 为 6.6%，预计 2023 年市场规模为 4,914 亿美元，同比下降 6.1%，主要系疫情后 通胀、内存市场疲软、美国对华芯片制裁等原因导致。
资本开支呈现周期性波动，反转或将至。疫情期间供应链中断，而居家办公等 新兴场景又带动消费电子需求增长，出现供不应求的局面，强劲的需求推动大多数 制造设施的利用率远高于 90% ，甚至很多半导体代工厂利用率都是 100%，因此 2022 年半导体资本开支达到顶峰，其中有一大半都是代工厂贡献。2023 年由于内 存市场疲软及美国对华制裁，全球半导体设备资本开支预计 1,466 亿美元，同比下 降 19%。从长期角度来看，资本开支呈现周期性波动，一般为 3-4 年。
中国集成电路市场大但自给率低，国产替代空间巨大。中国集成电路产业起步 较晚，但近年来在市场需求拉动和政策支持下，产业规模迅速增长。中国一直是集 成电路最大的消费国，但中国的集成电路产值占比较低，国产替代空间巨大， 2021 年中国集成电路市场规模 1865 亿美元，占全球规模的 16.7%，产值仅有 312 亿美元，自给率较低，其中内资企业产值 123 亿美元，仅占 6.6%。
集成电路产业向中国转移大势所趋。近年来全球各大集成电路企业，如英 特尔Leyu·乐鱼官网、三星、格罗方德、IBM、日月光、意法、飞思卡尔等已陆续在中国建设 工厂或代工厂，向中国转移产能。中芯国际、武汉新芯、长江存储、紫光存储、台 积电、晋华集成、华虹半导体等都已在内地多个城市布局 12 寸晶圆厂。内资、外 资两大阵营纷纷加码中国，建厂投资。据国际半导体设备与材料产业协会 （SEMI）报告预计，2017-2020 年间全球投产的半导体晶圆厂为 62 座，其中 26 座 设于中国，合计占全球总数约 42%。
2023-2025 年集成电路废气治理市场空间 24.3/29.6/35.7 亿元，空间广阔， 假设如下： 3） 按照上文资本开支周期预测，我们保守假设全球集成电路资本开支每年保 持 9%增长。2020 年中国集成电路产能占全球 16%，Statista 预测 2026 年中国集成电路产能将占全球 20%以上，我们假设 2023 年中国集 成电路产能占全球 17%，2025 年达到 21%。 4） 根据公司招股说明书，集成电路行业环保投资一般占总投资的比例不超过 5%，在日趋严格的环保监测背景下，我们假设环保投资占总投资 5%，废 气处理投资占比 30%。
集成电路收入迅速提升，占比持续增加。2022 年公司集成电路领域实现收入 6.92 亿元，同比增加 21%，占公司总营收 52%。2023H1 集成电路领域实现收入 5.66 亿元，占公司总营收 73%，集成电路行业市占率、重点客户的覆盖率及品牌 影响力持续提升，助力公司业务结构不断优化、行业地位稳步提高。
公司在集成电路行业的覆盖率及品牌影响力持续提升。2022 年，公司成功中标 青岛芯恩崂山项目 FAB A 废气处理设备、芯卓半导体产业化建设项目二期工艺 废 气系统设备，以及国内某半导体公司的亿元级“某集成电路项目工艺排气系统分包 工程”项目。2023 年上半年成功中标西安奕斯伟硅产业基地二期项目酸碱废气供货 及安装项目、芯恩（青岛）集成电路电子信息产业园配套项目洁净室废气处理系统、 嘉兴斯达微电子高压特色工艺功率芯片和 SiC 芯片研发及产业化项目工艺酸碱及有 机排风系统、广州粤芯半导体 12 英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期） 及其他头部客户项目。
公司将泛半导体领域积累的经验拓展至烟气净化、新能源、非泛半导体行业 VOCs 减排等领域的系统、关键设备、零部件及原材料研制。1）烟气净化领域， 公司可提供脱硫、脱硝、除尘、脱白、飞灰等解决方案，可满足烟气达标及超净排 放要求。2）工业 Vocs 领域，公司可提供达标及超净解决方案。同时可根据风量 和现场工况，提供中央系统设备及精密集成的 VOCs 净化一体机。3）新能源领 域，公司解决方案可有效提升生产稼动率，目前已完成真空设备和温控设备等方面 的产品研发验证。
新能源领域业务发展迈入快车道。2022 年是公司新能源业务元年，公司成功 中标时代吉利项目真空尾气处理工程、时代一汽二期真空尾气处理工程、西安隆基 乐叶项目、陕西隆基乐叶项目、宁夏隆基乐叶项目等新能源行业头部客户项目，同 时通过成功中标“隆基绿能越南电池 G5 项目废气处理系统包”项目，顺利进军海 外市场，进一步打开业务空间。2023 年上半年公司成功中标“蒙苏经济开发区隆 基新能源科技产业园项目电池项目 A102、A107、A108、A109、A402 废气综合处理 系统”、“蒙苏经济开发区隆基新能源科技产业园项目电池项目 A201、A202 车间 及辅房工艺废气综合处理系统专业设备包”、“马来西亚隆基酸碱设备采购合 同”、“天合光能（淮安）二期尾气处理装置项目”、“扬州新瑞光电尾气处理装 置项目”等项目。
公司的废气治理系统和设备占公司总营收比例保持在 90%左右，组成公司的主 要收入来源。公司的工艺废气治理系统解决方案综合应用了中央治理和源头控制技 术，以定制化的中央治理系统为核心。公司的废气治理系统主要由各污染物治理系 统的高效协同集成实现，根据客户废气成分，由酸碱废气处理系统、有毒废气处理 系统、VOCs 处理系统、一般排气系统和烟气净化系统等有机结合而成。
公司单体治理设备的制造能力大幅提升。公司的废气治理设备主要包括工艺排 气管道、中央废气治理设备和泛半导体制程附属设备。废气治理设备的占比从 2023 年起占比呈明显上升态势，2022 年废气治理设备占比为 33.23%。早期自产设备以 工艺排气管道为主，随着江苏盛剑厂房建成投产，公司单体治理设备的制造能力大 幅提升。
核心设备自产率持续上升，有助于公司发挥成本优势。泛半导体工艺废气治 理系统由中央废气治理设备、管道、仪表等组成，中央废气治理设备作为废气 治理系统的核心组件，目前主要核心设备能够实现自产或定制化设计。公司废 气治理系统中的自产设备占比由 2017 年的 25.16%快速上升至 2020H1 的 47.94%。 公司核心设备自产化率不断上升，全产业链化能力有望帮助公司降低成本，打造竞 争力。
L/S 全称 Local Scrubber，是泛半导体工艺设备 PFCS 污染物处理装置，属于泛 半导体工艺制程设备的一部分，其运行稳定性及气体处理效率要求高。L/S 涉及到 的核心技术包括等离子废气处理技术、等离子反应腔技术、等离子火炬发生器技术、 干式化学吸附技术、L/S 控制技术、反应腔隔热技术、气体注入技术。 L/S 用于对制程过程中产生的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有 害废气进行源头处理，该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连，通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排 气体排至中央处理装置并进行后续处理。
根据 QY Research 数据，2018 年-2022 年我国半导体专用废气处理设备市场规模 从 1.16 亿美元，增长到 2.26 亿美元，5 年 CAGR 为 18.13%。考虑到 L/S 设备的需求 量、价格以及后续维护保养市场，未来 L/S 设备市场市值规模将进一步有提升。
L/S 设备厂商主要为国外厂家，国产化率有待进一步提高。目前，国外 L/S 厂 商有 DAS、EDWARDS、KANKEN，国内主要厂商有盛剑环境、中微惠创、京仪 装备、沃飞科技和上海兄弟等。根据 QY Research 数据，以收入口径计算，半导体 L/S 设备国内市场集中度较高，2018 年至 2022 年国内市占率前六厂商合计市占率水 平维持在 90%左右，其中京仪装备为前六家中唯一一家国内厂商。L/S 设备作为泛 半导体制程附属设备，连接主设备进行本地废气处理，处理工艺以及效果与主设备 的运行参数密不可分，因此 L/S 设备的生产与研发需要与下游厂商紧密合作，L/S 设备的生产研发要求形成了较高的进入壁垒。
公司 L/S 研发进程不断推进，丰富 SKU。2019 年，江苏盛剑研发基地建成并投 入使用，公司 L/S 单体治理设备研制成功并取得订单。2021 年，公司研制的等离子 L/S 设备实现技术迭代，其安全性、稳定性、耐用性均大幅提升，实现了在集成电 路 12 寸产线的客户验证和批量交付；等离子 L/S 核心部件——火炬头实现自产； 与此同时，燃烧式 L/S 设备研发试制成功并实现交付。2022 年，公司持续增加在泛 半导体制程附属设备领域的研发投资，填补了公司在集成电路领域燃烧水洗机型的 空白，而且在光电显示行业已经获得批量订单。2023 年上半年，公司研发验证了等 离子+水洗双腔样机，从而填补公司在双腔设备机型方面的空白。
实现 LOC-VOC 的国产化研制，用于保障生产员工的职业健康和安全。LOCVOC 是一种泛半导体洁净室 EHS 处理装置，用于处理洁净室内弥散的 VOC 气体， 用于保障生产员工的职业健康和安全。泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含 有一定量的挥发性 VOCs 气体，影响职业健康和产品良率。含有 VOCs 的气体通过 沸石，VOCs 被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓 度的 VOCs，排至 VOCs 中央处理装置，集中处理达标排放，有助于提高客户制程 的产品良率。
新能源、真空、温控设备多向拓展。公司积极开拓新能源领域市场，结合 TOPCon 电池 PE-Poly 工艺高 SiH4 和 H₂的特点，定向研发 PW3000 机型有效解决了 粉尘堵塞 PM 周期短的痛点，极大地提升客户的生产稼动率，并先后取得扬州新瑞、 天合光能等客户的批量订单；在线 款机型的研发验证测试， 并首次获得集成电路领域的维保服务订单；在温控设备方面，完成首款三通道产品 的研发验证测试。
湿电子化学品供应与回收再生系统包括两个相关联化学品系统，即化学品 供应系统和化学品回收再生系统。化学品供应系统主要作用是将化学品从化学 品原材料供应商提供的盛装容器中，输送到使用化学品的工艺设备入口，并根 据需要进行加压、纯化、多组分调配及计量等；化学品回收再生系统主要作用 是将废化学品收集后，根据需要进行外运处置或者在厂内进行提纯再生，调配 单组分、添加剂达到原液标准后循环使用。
湿电子化学品供应与回收系统布局持续推进。公司从 2017 年成立北京盛剑微 后，进行湿电子化学品供应与回收系统布局，持续突破显示及集成电路客户。2023 年上半年，公司该业务实现收入 0.53 亿元，占比 6.86%。湿电子化学品供应与回收 再生系统所用设备主要为专用设备、桶槽、管路、控制仪表、阀门等。目前，国内 泛半导体湿电子化学品供应与回收再生系统所需核心专用设备仍由日本、韩国、台 湾地区主导，公司进一步加强专用设备的自主研发。
湿电子化学品是在微电子和光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料， 通常又称超净高纯试剂，主体成分纯度大于 99.9%，其在制程中对杂质离子和微粒 数的控制要求非常严格。湿电子化学品广泛应用于半导体、显示面板、太阳能电池、 光伏、LED 等电子元器件微细加工的清洗、光刻、显影、蚀刻、掺杂等湿法工艺 制程。湿电子化学品细分种类繁多，按照成分不同可分为通用湿电子化学品（占 88%）和功能性湿电子化学品（占 12%）。 湿电子化学品需求持续提升。根据中国电子材料行业协会数据，2021 年全 球集成电路、显示面板、光伏三个应用领域湿电子化学品需求总量达到458.3万 吨，市场规模 595.65 亿元。长期来看，全球晶圆厂的陆续建成投产以及显示面 板、光伏产业的发展将继续推动湿电子化学品行业快速增长，预计 2025 年湿电 子化学品需求量将增长至 697.22 万吨，CAGR11.06%，市场规模 792.05 亿元， CAGR7.38%。
2025 年我国湿电子化学品市场将达到至 287.4 亿元。2021 年我国湿电子化 学品整体需求量达 213.5 万吨，占全球比例 46.59%，预计到 2025 年我国湿电子 化学品市场需求量将达 369.6 万吨, CAGR 9.51%。在湿电子化学品需求快速增长 的同时，我国湿电子化学品行业市场空间不断扩大。根据中国电子材料行业协 会数据显示，2021 年我国湿电子化学品总体市场规模已达到 160.2 亿元，预计 2025 年将达到至 287.4 亿元, CAGR 15.73%。
国产替代空间广阔。全球湿电子化学品区域分布中，欧美企业具备技术优 势，德国巴斯夫公司、美国亚什兰集团、美国霍尼韦尔公司等牌化工企业基本 与半导体发展适配，产品可达到 SEMIG4 及以上，日本十家左右企业晚于欧美， 整体水平可与尖端技术比肩，欧美日整体占比全球超 6 成市场份额，中国 和企业合计占比 3 成左右。2020 年数据显示国内湿电子化学品企业占比全 球 15%的市场份额，主要集中在光伏和显示面板应用，高端产品较少，国产替 代空间广阔。
立足系统基础，剥离液已实现“0 到 1”的突破。公司分别于 2021 年、2022 年成立孙公司上海盛剑微和合肥盛剑微，致力于湿电子化学品材料的研发、制 备。公司立足于湿电子化学品供应与回收系统的业务基础，持续推广泛半导体 废有机溶剂回收再生技术及服务方案，将回收系统与材料形成业务联动。在技 术方面，公司引进国际先进的 FPD 光刻胶剥离液和蚀刻液技术。主要规划产品 聚焦于剥离液、蚀刻液、清洗液等电子专用材料。2023 年上半年，光刻胶剥离液已顺利与某半导体显示知名客户签订《框架采购合同》并正式获得采购订单， 累计交货超过 200 吨。
